簡要描述：全新外觀設(shè)計，適配實驗室實驗操作半導體顯影機*進的設(shè)計理念，模塊化設(shè)計可快速拆卸和替換原有功能模塊，操作便捷支持去邊、背洗、勻膠、顯影、清洗等功能模塊個性化定制可實現(xiàn)不同功能模塊的自由組合定制配載精密的運動控制系統(tǒng)，提高實驗精度及重復性
產(chǎn)品型號：AC200-CTM廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家更新日期：2025-02-11訪 問 量：4009產(chǎn)品特點
全新外觀設(shè)計，適配實驗室實驗操作
*進的設(shè)計理念，模塊化設(shè)計
可快速拆卸和替換原有功能模塊，操作便捷
支持去邊、背洗、勻膠、顯影、清洗等功能模塊個性化定制
可實現(xiàn)不同功能模塊的自由組合定制
配載精密的運動控制系統(tǒng)，提高實驗精度及重復性
產(chǎn)品參數(shù)
轉(zhuǎn)速范圍：20-10000rpm
轉(zhuǎn)速分辨率：±1rpm
加速度可調(diào)范圍：20-50000rpm/s
單步時長：3000s
時間分辨率：0.1s
適用基片尺寸：4/6/8寸標準晶圓，非標準基片可定制載物盤
顯影噴嘴距離基片高度可調(diào)，可調(diào)范圍10-50mm
可添加背洗功能（根據(jù)客戶需求而定）
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